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光學測量 OPTICAL MEASUREMENT
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MTL X5
機型 測量范圍
? x L
檢測部件******重量
? x L – 重量
分辨率
? – L – 旋轉
精確度
? – L
重復性
? – L
尺寸
L x P x H – 重量
MTL X5 16 x 100 mm 90 x 270 mm
3 Kg
0.1 μm – 0.1 μm – 0.001° 2+D[(mm)/100] μm
5+L[(mm)/100] μm
0.4 μm
3 μm
560 x 660 x 860 mm
90 kg
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